據(jù)報(bào)道，中國科學(xué)院電子學(xué)研究所傳感技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室近日成功研制出基于MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）技術(shù)的電場傳感器系列創(chuàng)新產(chǎn)品，已實(shí)現(xiàn)小批量生產(chǎn)和應(yīng)用。產(chǎn)品已在航空航天、智能電網(wǎng)等多領(lǐng)域。

據(jù)業(yè)內(nèi)預(yù)測，隨著全球電子制造業(yè)繼續(xù)向中國轉(zhuǎn)移，預(yù)計(jì)2013年至2015年，中國MEMS市場將繼續(xù)保持兩位數(shù)增長，到2016年，中國MEMS市場銷售額預(yù)計(jì)將超過350億元。