測量中心距離為20 ~ 1,500 mm的各種型號。 *大分辨率達(dá)0.25 μm。 *大響應(yīng)速度達(dá)110 μs。 支持并行輸出。
重視性能的*佳傳感器頭尺寸和3點(diǎn)式固定構(gòu)造確保出眾的傳感穩(wěn)定性。(參見注釋)
注:ZS-HLDS2T 不可用。
通過提高受光透鏡的靈敏度和分辨率,使光學(xué)系統(tǒng)*優(yōu)化,從而大幅度降低移動分辨率誤差(因工件表面位置引起的誤差)。
CCD在受光量過多時電荷會溢出至相鄰的像素。CMOS避免了這種現(xiàn)象,不會受不同材質(zhì)或受光過多導(dǎo)致的光量變動影響。
降低決定測量精度的不同物體之間的差異。 因此,可以更方便地應(yīng)用于檢測對象物。
行業(yè)首創(chuàng)的1,500mm長距離檢測,可以測量以往無法測量的點(diǎn)。
注:此功能可能在明亮環(huán)境中無效。
可穩(wěn)定測量傾斜工件和移動工件。
專門為ZS-HLDS2VT開發(fā)的非球面透鏡,采用的光學(xué)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)*適用于正反射工件。顯著擴(kuò)大了允許傾斜的角度,并提高了測量透明工件和正反射工件的穩(wěn)定性。
在半導(dǎo)體晶圓片、玻璃等要求精度高的測量上具有壓倒性的優(yōu)勢。
令人難以置信的測量精度0.25μm,同級產(chǎn)品的*高水平。
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