使用安全的紅色LED作為光源，無需任何繁雜的安全措施。無需使用激光時(shí)必備的保護(hù)罩，在美國(guó)使用時(shí)不需要符合FDA標(biāo)準(zhǔn)。

檢測(cè)頭和控制器的總消耗電流為70mA以下。實(shí)現(xiàn)光電傳感器同等的低功耗。

雖然使用紅色LED作為光源，但仍然具有激光傳感器同樣的高性能，因此可實(shí)現(xiàn)高精度檢測(cè)。

投、受光部一體型，無需繁瑣的光軸調(diào)整。并且，檢測(cè)距離及檢測(cè)寬度可以覆蓋30mm的廣闊區(qū)域，可對(duì)應(yīng)各種不同尺寸的晶圓。