激光具有高強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)，激光干涉儀，則是以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測(cè)量位移的通用長度測(cè)量。激光干涉儀是激光在計(jì)量領(lǐng)域中*成功的應(yīng)用之一。
國產(chǎn)激光干涉儀（SJ6000）采用高穩(wěn)定氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速(約6分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、高精度激光干涉信號(hào)處理系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，結(jié)合線性鏡組能實(shí)現(xiàn)0.5ppm精度的線性測(cè)量；結(jié)合相應(yīng)鏡組還能實(shí)現(xiàn)角度、直線度（平行度）、平面度、垂直度、回轉(zhuǎn)軸等參數(shù)的測(cè)量，并進(jìn)行動(dòng)態(tài)分析。
國產(chǎn)激光干涉儀（SJ6000）工作原理：
激光干涉儀發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測(cè)量光束）則通過分光鏡射入第二個(gè)反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會(huì)有一個(gè)探測(cè)器監(jiān)控兩道光束之間的干涉（見圖）。若光程差沒有變化時(shí)，探測(cè)器會(huì)在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。若光程差有變化時(shí)，探測(cè)器會(huì)在每一次光程變化時(shí)，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號(hào)，這些變化會(huì)被計(jì)算并用來測(cè)量兩個(gè)光程之間的差異變化。
國產(chǎn)激光干涉儀（SJ6000）技術(shù)參數(shù)：
系統(tǒng)性能
² 測(cè)量方式：?jiǎn)晤l
² 穩(wěn)頻精度：0.05ppm
² 動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz
² 預(yù)熱時(shí)間：約6分鐘
² 工作溫度范圍：(0~40)℃
² 環(huán)境溫度范圍：(0~40)℃，環(huán)境濕度：(0~95)%RH
² 存儲(chǔ)溫度范圍：(-20~70)℃
環(huán)境補(bǔ)償示值誤差
² 空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
² 材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
² 空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95) %RH
² 大氣壓力傳感器：±0.1kPa
線性測(cè)量
² 測(cè)量距離：(0~40)m
² 測(cè)量精度：0.5ppm (0~40)℃
² 測(cè)量分辨力：1nm
² 測(cè)量*大速度：4m/s
角度測(cè)量
² 軸向量程：(0~15)m
² 測(cè)量范圍：±10°
² 測(cè)量精度：±(0.04%R)″ (R為顯示值，單位：″)
² 測(cè)量分辨力：0.1″
平面度測(cè)量
² 軸向量程：(0~15)m
² 測(cè)量范圍：±1.5 mm
² 測(cè)量精度：±(0.6%R+0.02 M2) μm (R為顯示值，單位：μm；M為測(cè)量距離，單位：m)
² 基板尺寸：180mm可調(diào)，360mm可調(diào)
測(cè)量分辨力：0.1μm
直線度測(cè)量
² 軸向量程：(0.1~4.0)m
² 測(cè)量范圍：±3mm
² 測(cè)量精度：±(0.5+0.1%R +0.1M2) μm (R為顯示值，單位：μm；M為測(cè)量距離，單位：m)
² 測(cè)量分辨力：0.01μm
垂直度測(cè)量
² 軸向量程：(0.1~3.0)m
測(cè)量范圍：±3mm
² 測(cè)量精度：±(0.5+0.5%R+0.2M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測(cè)量距離，單位：m)
² 測(cè)量分辨力：0.01μm/m
回轉(zhuǎn)軸精度測(cè)量
² 角度測(cè)量范圍：(0~360)°
² 測(cè)量精度：±1″
*高轉(zhuǎn)速：10rpm
鋰電池供電，藍(lán)牙傳輸數(shù)據(jù)。
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