TRUMPF 霍廷格中頻等離子體發(fā)生器主要用于雙陰極系統(tǒng)，例如用于雙磁控濺射。得益于高輸出功率和流程穩(wěn)定性，中頻發(fā)生器不僅適合具有高沉積速率的大面積建筑玻璃鍍膜，而且適用于在半導(dǎo)體或太陽能電池上涂敷超薄型均勻涂層。憑借出色的精確度和生產(chǎn)效率，該款中頻工藝電源成為眾多等離子體激發(fā)應(yīng)用的理想解決方案。