NT系列無(wú)塵機(jī)器人設(shè)計(jì)的目的是讓一個(gè)機(jī)器人可以伸展開(kāi)來(lái)管護(hù)多達(dá)四個(gè)FOUP而不必使用線性軸。NT系列采用下一代設(shè)計(jì)，以400晶片每小時(shí)（WPH）的速率來(lái)搬運(yùn)300mm或450mm晶圓，而沒(méi)有使用校準(zhǔn)器。
NT系列機(jī)器人:
NT410 / NT510 單手臂
NT420 / NT520 雙手臂
NT620懸掛式安裝，雙手臂
應(yīng)用:
- 無(wú)塵室
- 卓越的伸展距離
- 單個(gè)的NT系列手臂可以伸展到四個(gè)FOUP。選配的線性軸可以增加FOUP*多到五個(gè)。
- 高吞吐量
- 標(biāo)準(zhǔn)NT機(jī)器人的吞吐量是用校準(zhǔn)器280晶圓每小時(shí)（WPH）與不用校準(zhǔn)器400WPH�？捎眠x配的抓手，增加吞吐量到700WPH。
- SEMI F47合規(guī)
- NT型號(hào)可以瞬時(shí)響應(yīng)電波動(dòng)，如電壓下降，并且在電壓恢復(fù)時(shí)自動(dòng)恢復(fù)運(yùn)行。
- SEMI S2合規(guī)
- NT型號(hào)可以滿足對(duì)環(huán)境和人身安全的特殊考慮。
- 碰撞檢測(cè)
- 軟件和硬件組件都配備有碰撞檢測(cè)功能，以減少碰撞所造成精密、專(zhuān)用設(shè)備的損壞。
- 懸掛式安裝
- NT620型號(hào)具有吊裝規(guī)格設(shè)計(jì)，用于在化學(xué)液體環(huán)境中使用，同時(shí)滿足ISO1級(jí)的要求。
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