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SEMISTAR-MR124半導體晶片搬運用機器人動態(tài)范圍1215mm 適用300mm-450m

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店鋪基本資料信息

產(chǎn)品詳細說明

SEMISTAR-MR124搬運機器人

適用于晶元搬運SEMISTAR-M系列升級版，引領業(yè)界的高性能！供應EFEM模塊全套設備。300枚/小時的高速搬運。

半導體晶片搬運用機器人

負載：-

動態(tài)范圍：1215mm

控制柜：SR100

用途：搬運、半導體

特點

大動作范圍：EFEM模塊移動距離可達4套應用設備，無需使用底架，極大地提高了搬運效率。

高速搬運：300枚/小時

適用：300mm-450mm晶片搬運

*1：本公司標準終端效應器(300mm:邊緣把持/真空吸著,450mm:真空吸)

*2：300mm晶體(SEMI規(guī)格標準品),當使用本公司標準300mm對應終端校準器時

*3：機械臂回旋中心位置～晶體中心位置(本公司標準300mm對應終端效應器時)

*4：根據(jù)SEMI規(guī)格為基準的晶體規(guī)格。特殊石英晶體請與我司聯(lián)系。石英晶體也可對應（有業(yè)績）。但是根據(jù)石英規(guī)格，本公司需要進行評價和調(diào)整。

*5：在0.3m/s的流量下，機械臂進行真空吸附

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