*1：本公司標準終端效應器(300mm:邊緣把持/真空吸著,450mm:真空吸)
*2：300mm晶體(SEMI規(guī)格標準品),當使用本公司標準300mm對應終端校準器時
*3：機械臂回旋中心位置～晶體中心位置(本公司標準300mm對應終端效應器時)
*4：根據(jù)SEMI規(guī)格為基準的晶體規(guī)格。特殊石英晶體請與我司聯(lián)系。石英晶體也可對應（有業(yè)績）。但是根據(jù)石英規(guī)格，本公司需要進行評價和調整。
*5：在0.3m/s的流量下，機械臂進行真空吸附
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