安川機器人MCL165適用于潔凈室內(nèi)大型重物的搬運。負(fù)載重達165KG，潔凈度達到ISO6級。

潔凈室搬運機器人
負(fù)載：165KG
動態(tài)范圍：2650mm
控制柜：DX100
用途：搬運、半導(dǎo)體、潔凈室

*1：依據(jù)JIS B8432標(biāo)準(zhǔn)
*2：潔凈度依據(jù)ISO-14644標(biāo)準(zhǔn)。在0.4m/s以上的向下流風(fēng)速環(huán)境下，來確保整個潔凈室的潔凈度。
*3：根據(jù)用途、作業(yè)形式會有所不同。

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