化學(xué)過(guò)濾網(wǎng)
借由串珠狀活性碳之三次元纖維構(gòu)造,可以減低壓力損失并高效率去除氣體,得以更進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)LSI之超微細(xì)加工所需要的清凈化。
內(nèi)容
選用化學(xué)濾網(wǎng)(Chemical Filter)
改善被污染分子的無(wú)塵室
長(zhǎng)期性能確認(rèn)試驗(yàn)數(shù)據(jù)介紹
GIGASORB規(guī)格
外型尺寸 590x1080x100mm
GIGASORB 220mm x 3層
(A,L,C各一層)
接觸時(shí)間 0.037秒 X 3
(0.11秒)
外框 鋁材
ULPA規(guī)格
外型尺寸 610x1220x85mm
效率 >99.9995%
濾材 硼矽酸鹽玻璃纖維
型式 迷你折疊標(biāo)準(zhǔn)品
檢查 用Clean Silica粒子掃瞄